Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓ　ｏｆ　Ｎｏｎ－ｍｅｔａｌ　Ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ

　　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ　ａｎｄ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄｓ　ｏｆ　ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ｗｅｒｅ　ｄｉｓｃｕｓｓｅｄ　ｉｎ　ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ．Ｔｈｅ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄｓ　ｉｎｃｌｕｄｅｄ　ｅｔｃｈｉｎｇ，ｓｅｌｆ－ａｓｓｅｍｂｌｉｎｇ，ｐｈａｓｅ　ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ，ｔｅｍｐｌａｔｅ，ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ａｎｄ　ｓｏｌ－ｇｅｌ．Ｔｈｅ　ａｄｖａｎｔａｇｅ，ｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ，ａｎｄ　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅｓｅ　ｍｅｔｈｏｄｓ
ｗｅｒｅ　ｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｐｒｏｃｅｓｓｅｄ　ｕｓｉｎｇ　ｌａｓｅｒ　ｒａｄｉａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｐｌａｓｍａ　ｅｔｃｈｉｎｇ，ｐｅｒｆｅｃｔ　ｍｉｃｒｏ－ｎａｎｏ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ｃｏｕｌｄ　ｂｅ　ｏｂｔａｉｎｅｄ　ｏｎ　ｎｏｎ－ｍｅｔａｌ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ．Ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　ｓｕｒｆａｃｅｓ　ｃｏｕｌｄ　ｂｅ　ｏｂｔａｉｎｅｄ　ｏｎ　ｌｏｗ ｓｕｒｆａｃｅ　ｆｒｅｅ　ｅｎｅｒｇｙ　ｐｏｌｙｍｅｒｓ　ｄｉｒｅｃｔｌｙ　ｔｈｒｏｕｇｈ　ｌａｓｅｒ　ｅｔｃｈｉｎｇ　ａｎｄ　ｆｕｒｔｈｅｒ　ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ　ｗａｓ　ｎｅｅｄｌｅｓｓ．
　　Ｐｈａｓｅ　ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｗａｓ　ａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　ｐｏｌｙｍｅｒ　ｆｉｌｍ　ｆｏｒ　ｉｔ　ｗａｓ ｓｉｍｐｌｅ，ｌｏｗ　ｃｏｓｔ，ａｎｄ　ｓｕｉｔａｂｌｅ　ｆｏｒ　ｌａｒｇｅ　ｓｃａｌｅ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ．Ｔｅｍｐｌａｔｅ　ｍｅｔｈｏｄ　ｗａｓ　ｓｉｍｐｌｅ　ａｎｄ ｃｏｎｖｅｎｉｅｎｔ　ｔｏ　ｆａｂｒｉｃａｔｅ　ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ．
　　
　　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｓｕｐｅｒｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌ；ｍｉｃｒｏ－ｎａｎｏ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ；ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ
　　
　　
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