Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｐｒｅ－ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ　Ｈｏｔ　Ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ　Ｂｅｈａｖｉｏｒ　ｏｆ　ＣｏＮｉＣｒＡｌＹ Ｃｏａｔｉｎｇ　Ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　Ｃｏｌｄ　Ｓｐｒａｙ

　　Ａｂｓｔｒａｃｔ：
　　ＣｏＮｉＣｒＡｌＹ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｗｅｒｅ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｃｏｌｄ　ｓｐｒａｙ　ｐｒｏｃｅｓｓ．Ａｆｔｅｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ｔｈｅ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄａ－ｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｗａｓ　ｐｅｒｆｏｒｍｅｄ　ｂｙ　ｖａｃｕｕｍ　ｈｅａｔ－ｔｒｅａｔｍｅｎｔ．Ｔｈｅ　ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　ａｎｄ　ｐｈａｓｅ　ｃｏｎｓｔｉｔｕ－ｅｎｔ　ｏｆ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｗｅｒｅ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ　ｂｙ　ＸＲＤ，ＦＥ－ＳＥＭ　ａｎｄ　ＴＥＭ．Ｔｈｅ　ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ　ｂｅｈａｖｉｏｒ　ａｎｄ　ｍｅｃｈａ－ｎｉｓｍｓ　ｏｆ　ａｓ－ｓｐｒａｙｅｄ　ａｎｄ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄｉｚｅｄ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｉｎ　ｍｏｌｔｅｎ　７５％Ｎａ２ＳＯ４＋２５％ＮａＣｌ（ｍａｓｓ　ｆｒａｃｔｉｏｎ，ｔｈｅ ｓａｍｅ　ｂｅｌｏｗ）ａｔ　９００℃ ｗｅｒｅ　ａｌｓｏ　ｓｔｕｄｉｅｄ．Ｔｈｅ　ｒｅｓｕｌｔｓ　ｓｈｏｗ　ｔｈａｔ　ｔｈｅ　ａｓ－ｓｐｒａｙｅｄ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｐｒｅｓｅｎｔｓ　ａ ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　ｗｉｔｈ　ｌｏｗ　ｐｏｒｏｓｉｔｙ（ｌｅｓｓ　ｔｈａｎ　０．２８％ ｖｏｌｕｍｅ　ｆｒａｃｔｉｏｎ）ａｎｄ　ｌｏｗ　ｏｘｙｇｅｎ　ｃｏｎ－ｔｅｎｔ（０．１２％）．Ｖａｃｕｕｍ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｔｒｅａｔｍｅｎｔ　ｉｍｐｒｏｖｅｓ　ｔｈｅ　ｂｏｎｄｉｎｇ　ｓｔａｔｕｓ　ｏｆ　ｐａｒｔｉｃｌｅ　ｉｎｔｅｒｆａｃｅ　ａｎｄ ｆｏｒｍｓ　ａ　ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ，ｕｎｉｆｏｒｍ　ａｎｄ　ｄｅｎｓｅα－Ａｌ２Ｏ３ ｌａｙｅｒ，ｗｉｔｈ　ａｎ　ａｖｅｒａｇｅ　ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ　ｏｆ　０．２６μｍ．Ａｓ－ｓｐｒａｙｅｄ　ａｎｄ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄｉｚｅｄ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｃａｎ　ｐｒｏｔｅｃｔ　ｔｈｅ　ｓｕｂｓｔｒａｔｅ　ｆｒｏｍ　ｈｏｔ　ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ　ｄｕｅ　ｔｏ　ｔｈｅ　ｆｏｒｍａｔｉｏｎ　ｏｆ ｔｈｅ　ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ　ａｎｄ　ｄｅｎｓｅα－Ａｌ２Ｏ３ ｌａｙｅｒ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｔｈｅ　ｖａｃｕｕｍ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｔｒｅａｔｍｅｎｔ　ｃａｎ　ａｌｌｅｖｉａｔｅ ｔｈｅ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｏｆ　Ｓ　ａｎｄ　Ｃｌ　ｉｎｔｏ　ｃｏａｔｉｎｇ　ａｎｄ　ｔｈｕｓ　ｌｅａｄ　ｔｏ　ａｎ　ｉｎｃｒｅａｓｅ　ｏｆ　ｏｎｅ　ｔｉｍｅ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｈｏｔ　ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ　ｒｅ－ｓｉｓｔａｎｃｅ　ｔｈａｎ　ｔｈｅ　ａｓ－ｓｐｒａｙｅｄ　ｃｏａｔｉｎｇｓ．
　　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ＭＣｒＡｌＹ　ｃｏａｔｉｎｇ；ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ；ｈｏｔ　ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ；ｃｏｌｄ　ｓｐｒａｙ；ｖａｃｕｕｍ　ｐｒｅ－ｏｘｉｄａｔｉｏｎ
　　
　　
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